FFU循環(huán)的特點就是:全部凈化室由負壓層、加工工藝層、加工工藝協(xié)助層及送風安全通道構成,由FFU給予循環(huán)空氣的驅動力,將新風系統(tǒng)、內循環(huán)混合均勻根據超高效過濾器送進加工工藝層制造工藝協(xié)助層,負壓層相較于加工工藝層為負壓力。除此之外,也有生產制造協(xié)助區(qū)為集成電路制造廠務機器設備地區(qū),包含能源供應、氣體化工品供貨、超純水系統(tǒng)供貨等。
風機過濾單元特性:
1、可以使用多種形式操縱速率。
2、很低的運行耗費功能損耗,控制成本。
3、內嵌風管引流系統(tǒng)軟件,減少噪音和風阻,提升風機效率。
4、可隨便搭配各種之T-GRID及HEPA、ULPA。
5、風機過濾單元離心風機采用率離心式通風機,能提供高排風量.高壓力標準,使用壽命規(guī)定將近五萬個小時以上。
6、適合使用于潔凈度等級Class1-1000級潔凈室。
7、尤其適用于組裝成潔凈生產流水線,可以根據加工工藝應該布局為每臺應用,還可以將幾臺串連產生100級銀行流水裝配流水線
8、產品出廠前都按照美國聯邦政府規(guī)范209E,用塵埃粒子計數器逐臺掃描儀檢驗,保障質量。