風(fēng)淋室在緩存部的功效有兩種,一個(gè)是避免非潔凈區(qū)的氣體直接進(jìn)潔凈室,有了一個(gè)緩存室就能夠降低這種可能。二個(gè)是人員或原材料自非潔凈區(qū)進(jìn)到潔凈室時(shí),在緩存室有一個(gè)“閑置”開(kāi)展自凈作用(通常是原材料),以防進(jìn)到潔凈室后,對(duì)潔凈室造成二次污染。
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